6 月 17 日消息 從中微公司獲悉，今日，中微半導體設備(上海)股份有限公司(簡稱“中微公司”)宣布推出為高性能 Mini LED 量產(chǎn)而設計的 Prismo UniMax MOCVD 設備。

　　中微公司表示，該設備在幫助 LED 芯片制造商提高產(chǎn)能的同時能夠有效地降低生產(chǎn)成本。

　　據(jù)介紹，中微公司 Prismo 系列 MOCVD 設備已進入全球大多數(shù)氮化鎵基藍綠光 LED 制造商，此次推出的 Prismo UniMax 是中微公司 Prismo 系列 MOCVD 設備的最新產(chǎn)品，該設備在同一系統(tǒng)中可配備多達 4 個反應腔。Prismo UniMax 配置了多區(qū)溫度補償加熱系統(tǒng)，具備波長均勻性、重復性和穩(wěn)定性。

　　該設備還具有其他一些特征，如通過石墨盤晶片排布的最優(yōu)化，其加工容量可以延伸到生長 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸晶片。

　　中微公司 Prismo UniMax MOCVD 設備已收到來自國內(nèi)客戶的訂單。

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