12 月 15 日，在 2021 年中國半導(dǎo)體設(shè)備年會暨重慶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展論壇(第九屆)上，中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會常務(wù)副秘書長金存忠發(fā)表了題為《中國半導(dǎo)體設(shè)備回顧與展望》的演講。

　　金存忠指出，2020 年，特如其來的新冠肺炎疫情使中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)經(jīng)歷了前所未有的挑戰(zhàn)，而在中國迅速戰(zhàn)勝了疫情，中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)在國內(nèi)投資的集成電路生產(chǎn)企業(yè)量產(chǎn)后加速擴(kuò)產(chǎn)和國家光伏發(fā)電政策的推動下，獲得了較快的發(fā)展機(jī)遇，呈現(xiàn)了繼續(xù)快速發(fā)展的態(tài)勢。

　　據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，中國大陸 56 家主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商在 2020 年完成半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入 242.90 億元，同比增長 38.7%;總利潤為 51.92 億元，同比增長 80.5%。其中，集成電路設(shè)備總銷售收入為 96.77 億元，同比增長 59.0%。

　　金存忠表示，2020 年中國半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入前 10 家單位完成銷售收入 192.12 億元，占 56 家半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售收入總額的 79.1%。在前 10 家單位中，北方華創(chuàng)以 43.91 億元的銷售收入排在第一位，同比增長 54.5%。

　　在 2021 年上半年的銷售收入排名前 10 的半導(dǎo)體設(shè)備公司中，北方華創(chuàng)仍然以 27.35 億元排在首位。另外，華峰測控也以 3.24 億元的銷售收入躋身前 10 榜單。

　　金存忠表示，國產(chǎn)設(shè)備不僅銷售額和利潤正在快速增長，在創(chuàng)新層面也不斷有新的產(chǎn)品進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化階段，例如北方華創(chuàng)的 12 英寸電感道等離子體干法金屬刻蝕機(jī)、盛美股份的 3D 硅通孔電鍍設(shè)備、中微股份的深紫外 LED MOCVD 設(shè)備等。

　　不過，金存忠也指出，國產(chǎn)設(shè)備在全球范圍內(nèi)市場占有率仍然較低，且在國內(nèi)的市占率提升緩慢。2020 年中國半導(dǎo)體設(shè)備(56 家)在全球市場占有率僅為 5.2%，在中國大陸市場占有率也只有 17.3%，與 2019 年基本相同。

　　另外，國產(chǎn)設(shè)備在集成電路關(guān)鍵領(lǐng)域仍需依賴進(jìn)口。金存忠表示，雖然已經(jīng)有國產(chǎn)光刻機(jī)研制成功，但相關(guān)產(chǎn)品目前尚未進(jìn)入集成電路晶圓量產(chǎn)生產(chǎn)線。而在已經(jīng)進(jìn)入晶圓量產(chǎn)生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備中，晶圓制造量測設(shè)備、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、引線鍵合設(shè)備、探針測試臺與國際同類設(shè)備都還有較大差距，市場占有率較低。

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