半導(dǎo)體工藝的進步一直備受關(guān)注,尤其是國產(chǎn)半導(dǎo)體技術(shù)差距依然很大,每一步都走得很艱難,每一步都令人鼓舞。
日前,韓國媒體報道稱,國內(nèi)最大代工廠中芯國際的董事長周子學(xué)博士在韓國訪問期間透露,已經(jīng)與荷蘭光刻機巨頭ASML解決了7nm EUV極紫外光刻機的供應(yīng)問題。
不過,中芯國際方面發(fā)表聲明稱,《BusinessKorea》等韓國媒體發(fā)布的報道中“引用”了中芯國際董事長周子學(xué)博士在韓國參會時對EUV事宜的表態(tài),此類報道違背事實,純屬捏造。
中芯國際強調(diào),周子學(xué)董事長僅參加了本月“中韓工商領(lǐng)袖和前高官對話”內(nèi)部會議環(huán)節(jié),期間并未接受任何媒體采訪,在發(fā)言中也從未提及EUV事宜。
至于EUV光刻機的具體進展,中芯國際未披露更多詳情。
去年上半年層有外媒報道稱,中芯國際已經(jīng)向ASML訂購了一臺EUV光刻機,單價1.2億美元,預(yù)計2019年初交付,但在不久前又有說法稱,ASML已停止對中芯國際供應(yīng)EUV光刻機,ASML則回應(yīng)稱不是停供而是延期,主要是在準(zhǔn)備該國政府的出口申請文本工作。
對于這一事件,中芯國際方面始終保持沉默,可能是涉及到商業(yè)合作機密,不便對外公開,我們也只能繼續(xù)期待了。
中芯國際聲明全文如下——
中芯國際關(guān)于韓國媒體涉EUV不實報道的聲明
近日,《BusinessKorea》等韓國媒體發(fā)布報道,“引用”中芯國際董事長周子學(xué)博士在韓國參會時對EUV(極紫外光刻機)事宜的表態(tài)。中芯國際對此鄭重聲明,此類報道違背事實,純屬捏造。周董事長僅參加了本月“中韓工商領(lǐng)袖和前高官對話”內(nèi)部會議環(huán)節(jié),期間并未接受任何媒體采訪,在發(fā)言中也從未提及EUV事宜。
對于杜撰及傳播謠言的媒體和個人,公司表示強烈譴責(zé),將保留訴諸法律追責(zé)的權(quán)利。
特此聲明。
中芯國際集成電路制造有限公司
2019年12月9日