4月1日消息,有媒體報道,中國廠商向ASML訂購的先進光刻機一而再的被阻礙,ASML對外表示:受到疫情的影響,公司提供給武漢以及其他地區(qū)客戶的EUV設備出貨,均受到了影響,同時公司的供應鏈出現(xiàn)了問題,目前已經(jīng)解決。

向ASML訂購EUV光刻機的中國芯片廠商應該就是中芯國際,早在1月份與去年11月份,ASML就因為延遲出貨而被質(zhì)疑。
今年1月份,ASML CEO對外表示,已經(jīng)向荷蘭政府提交了中國客戶出貨的申請,但一直在審批。同時在去年11月份,有媒體報道,受到了美國的壓力ASML將暫停向中芯國際供貨。

追溯這條新聞,結(jié)果發(fā)現(xiàn)中芯國際是在2018年中旬向ASML訂購的這臺EUV光刻機,價格為1.2億美元,預計在2019年底交付,2020年正式安裝,但如今ASML始終沒有交付。
據(jù)了解,中芯國際的7nm以下制程將使用ASML供應的這臺EUV光刻機,目前中芯14nm已經(jīng)進入量產(chǎn),12nm也已經(jīng)有了重大突破。

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