作為半導(dǎo)體卡脖子的技術(shù)之一，很多人只知道光刻機(jī)，卻不知道光刻膠的重要性，這個(gè)市場(chǎng)也是被日本及美國(guó)公司壟斷，TOP5廠(chǎng)商占了全球85%的份額。

國(guó)產(chǎn)光刻膠此前只能用于低端工藝生產(chǎn)線(xiàn)中，能做到G線(xiàn)(436nm)、I線(xiàn) (365nm)水平，目前主要在用的ArF光刻膠還是靠進(jìn)口，EUV光刻膠目前還沒(méi)有公司能生產(chǎn)，基本上都控制在日本公司手中。

不過(guò)EUV光刻膠也不是急需的，因?yàn)閲?guó)內(nèi)目前還沒(méi)有EUV工藝量產(chǎn)，193nm的ArF光刻膠更加重要，目前國(guó)內(nèi)有多家公司正在攻關(guān)中，這種光刻膠可以用于28nm到7nm工藝的先進(jìn)工藝。

今天，南大光電在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司的ArF光刻膠正在按計(jì)劃進(jìn)行客戶(hù)測(cè)試，這意味著國(guó)內(nèi)的ArF光刻膠技術(shù)取得了重要突破，從研發(fā)開(kāi)始走向生產(chǎn)。

根據(jù)南大光電公司之前的 消息，公司于2017年開(kāi)始研發(fā)“193nm光刻膠項(xiàng)目”，已獲得國(guó)家“02專(zhuān)項(xiàng)”的相關(guān)項(xiàng)目立項(xiàng)，公司計(jì)劃通過(guò)3年的建設(shè)、投產(chǎn)及實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售，達(dá)到年產(chǎn)25噸193nm(ArF干式和浸沒(méi)式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模，產(chǎn)品將滿(mǎn)足集成電路行業(yè)需求標(biāo)準(zhǔn)。