7 月 9 日消息 近日，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商至純科技在互動平臺表示，目前至純科技 28nm 節(jié)點(diǎn)全部濕法工藝設(shè)備已認(rèn)證完畢。

　　據(jù)了解，芯片制造分為邏輯芯片設(shè)計(jì)、芯片代工、封裝測試三大環(huán)節(jié)。其中芯片代工包括晶圓制造、曝光、刻蝕、清洗等流程。濕法清洗設(shè)備屬于半導(dǎo)體供給鏈中的清洗環(huán)節(jié)，清洗是根據(jù)不同芯片制程工藝的需求，來對硅晶圓表面進(jìn)行無損傷清洗，對芯片制造過程中殘留的顆粒、曝光、刻蝕制程形成的自然氧化層以及金屬污染、有機(jī)物、犧牲層、拋光殘留物等雜質(zhì)進(jìn)行清理。清洗環(huán)節(jié)占芯片制造工藝步驟的 30% 以上，在芯片制造工藝步驟中，清洗環(huán)節(jié)所占的比例是最大的。

　　至純科技表示，國內(nèi)目前有三家在濕法工藝設(shè)備端提供中高階濕法制程設(shè)備，分別是至純科技、北方華創(chuàng)和盛美，國內(nèi)廠商的市場占比在逐年上升中。

　　資料顯示，至純科技成立于 2000 年，主營業(yè)務(wù)為高純工藝系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售;半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售;光傳感應(yīng)用及相關(guān)光學(xué)元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。財(cái)報(bào)顯示，至純科技 2020 年濕法設(shè)備出貨量超過 30 臺，新增訂單 5.3 億元，增長 211.8%。

　　除了 28nm 工藝節(jié)點(diǎn)之外，上海證券報(bào)的報(bào)道中還指出，至純科技 14nm 及 7nm 工藝預(yù)計(jì) 2022 年可供客戶驗(yàn)證，客戶包括中芯國際、華虹集團(tuán)、長鑫存儲、華為、臺灣力晶等行業(yè)領(lǐng)先者。

　　值得一提的是，上個(gè)月中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院電子信息研究所所長溫曉君在接受采訪時(shí)表示：“我國將在 2022 年底完成有關(guān) 14 納米制程設(shè)備的突破”，至純科技將在 2022 年交付給華為、中芯國際認(rèn)證的 14 納米及 7 納米清洗設(shè)備，一定程度上也提高這則消息的可靠性。

特別提醒：本網(wǎng)信息來自于互聯(lián)網(wǎng)，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)。其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)本站證實(shí)，對本文以及其中全部或者部分內(nèi)容、文字的真實(shí)性、完整性、及時(shí)性本站不作任何保證或承諾，并請自行核實(shí)相關(guān)內(nèi)容。本站不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。如若本網(wǎng)有任何內(nèi)容侵犯您的權(quán)益，請及時(shí)聯(lián)系我們，本站將會在24小時(shí)內(nèi)處理完畢。