2 月 8 日消息，2 月 7 日晚間，萬業(yè)企業(yè)發(fā)布出售集成電路設備的公告，公司旗下北京凱世通擬出售多臺 12 英寸集成電路設備，包含低能大束流離子注入機和低能大束流超低溫離子注入機，總交易金額約為人民幣 6.58 億元。

　　作為集成電路前道四大核心設備，離子注入機設備的研制難度極大，僅次于光刻機，長期被海外設備商應用材料、Axceils 壟斷。據(jù)悉，目前一條月產(chǎn) 1 萬片的 12 英寸邏輯芯片生產(chǎn)線大約需要 20 臺以上離子注入機，因此國產(chǎn)替代空間極大，離子注入機市場前景廣闊。

　　萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通依托團隊多年的設備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗，取得了客戶驗證、批量生產(chǎn)、正式訂單的依次突破，成為了國內(nèi)首家為 12 英寸主流芯片制造廠批量供應半導體離子注入機的制造商，并率先應用在 28nm 成熟制程產(chǎn)線。

　　凱世通已經(jīng)具備了正式量產(chǎn)的技術(shù)和良率要求。2021 年，凱世通自主研發(fā)的低能大束流離子注入機和高能離子注入機就已相繼順利通過客戶驗證并完成驗收。

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