2 月 7 日消息,2 月 7 日,上海微電子舉行首臺 2.5D / 3D 先進封裝光刻機發(fā)運儀式,這標志著中國首臺 2.5D / 3D 先進封裝光刻機正式交付客戶。
去年 9 月 18 日,上海微電子舉行了新產(chǎn)品發(fā)布會,宣布推出新一代大視場高分辨率先進封裝光刻機。
據(jù)悉,當時推出的新品光刻機主要應用于高密度異構集成領域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光視場等特點,可幫助晶圓級先進封裝企業(yè)實現(xiàn)多芯片高密度互連封裝技術的應用,滿足異構集成超大芯片封裝尺寸的應用需求,同時將助力封裝測試廠商提升工藝水平、開拓新的工藝,在封裝測試領域共同為中國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更多的貢獻。

上海微電子曾表示,當時已與多家客戶達成新一代先進封裝光刻機銷售協(xié)議,首臺將于年內(nèi)交付。
上海微電子裝備 (集團) 股份有限公司 (簡稱 SMEE) 主要致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設計、制造、銷售及技術服務。公司設備廣泛應用于集成電路前道、先進封裝、FPD 面板、MEMS、LED、Power Devices 等制造領域。
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